ГлавнаяКаталогИзмерение параметров лазеров, оптики и оптоэлектроникиИзмерительное оборудование для оптики и полупроводниковых пластинЭллипсометрыAC-PLSEM - матричный эллипсометр Мюллера
AC-PLSEM - матричный эллипсометр Мюллера
AC-PLSEM - спектроскопический эллипсометр с матрицей Мюллера, предназначенный для комплексной характеристики тонких пленок в исследовательских и промышленных приложениях.
- Спектральный диапазон: 380 – 1000 нм.
- Полная матрица Мюллера (16 элементов).
- Источник света – галогенно-вольфрамовая лампа.
- Диаметр пятна: 50 × 100 мкм.
- Время измерения: ≤ 6 с.
- Диапазон измерения толщины: 0,01 – 10 мкм.
AC-PLSEM — это современный спектроскопический эллипсометр, предназначенный для комплексного анализа оптических свойств тонких плёнок и многослойных структур. Прибор сочетает в себе широкий спектральный диапазон, высокую точность измерений и возможность работы с полной матрицей Мюллера 4×4, что делает его универсальным инструментом как для научных исследований, так и для промышленного контроля качества.
Измеряемые параметры:
- Толщина плёнки — от 0.01 нм до 10 мкм;
- Показатель преломления (n) и коэффициент экстинкции (k) в широком спектральном диапазоне;
- Диэлектрическая проницаемость (ε).
- Спектральный диапазон
- Ручная регулировка угла падения от 45° до 90°.
- Размер пятна: 50 × 100 мкм (эллиптическое, с возможностью преобразования в круглое).
- Скорость измерения: до 6 секунд на один цикл.
| Параметр | Значение | Ед. измерения |
|---|---|---|
| Диапазон длин волн | 380 – 1000 | нм |
| Спектральный интервал | < 0,5 | нм |
| Измеряемые параметры | Толщина, показатель преломления, коэффициент экстинкции, диэлектрическая проницаемость (данные представляются как Psi/Delta, 16 элементов матрицы Мюллера) | — |
| Угол падения | 45–90 (ручная регулировка), по умолчанию 65 | градус |
| Диапазон измерения толщины | 0,01 – 10 | мкм |
| Точность (SiO₂ на Si) | ± 1,5 Å или 0,2% | — |
| Статическая повторяемость 1σ | 0,1 Å или 0,01% | — |
| Скорость измерения | ≤ 6 | с |
| Размер пятна | 50 × 100 (эллиптическое световое пятно, может быть преобразовано в круглое) | мкм |
| Источник света | Галогенно-вольфрамовая лампа (срок службы 2000 часов) | — |
| Размер образца | Диаметр от 1 до 200 и более | мм |
| Библиотека материалов | Более 200 материалов, включает различные типы осцилляторов: Коши, Коши-Урбаха, Лоренца, Селлмейера, гармонический осциллятор, Тауц-Лоренца, Друде, Гаусса, модель эффективной среды (EMA), мультиосциллятор и др. | — |
| Распознавание и локализация рисунка | Опционально (требуется выбор автоматического XYZ столика) | — |
| Автоматический XYZ столик | Опционально | — |
- Фундаментальные научные исследования.
- Полупроводниковая промышленность.
- Оптические покрытия.
- Исследование диэлектриков.
- Биоматериалы.
- Новые энергетические материалы.
AC-PLSEM - матричный эллипсометр Мюллера 662.64(Kб)
Мой заказ